Kaip visi žinome, pasaulyje yra tik vienas gamintojas, galintis gaminti EUV litografiją, tai Nyderlandų ASML.
Priežastis, kodėl vienintelė pasaulyje, yra ta, kad ASML bus sujungta daug pagrindinių gamintojų, tokių kaip Vokietijos optikos kompanija Zeiss (Zeiss), o vėliau Jungtinių Valstijų Cymer, o vėliau vokiečių Tom Fast Group (TRUMPF). ) ir taip toliau.
ASML pririšo šiuos gamintojus prie savo vežimo investuodamas, įsigijęs, turėdamas akcijų, steigdamas tyrimų centrus ir pan. pasaulyje.
Tačiau neseniai pagrindinė ASML tiekimo grandinė nubėgo į Šendženą (Kinija) statyti gamyklos, o jos Šendženo dukterinė įmonė apsigyveno Baoano Kinijos ir Vokietijos (Europos) pramonės demonstravimo parke.
Šis gamintojas yra Vokietijos „Tom Fast Group“ (TRUMPF), tai yra ASML EUV litografija, vienintelė pasaulyje lazerio šaltinio tiekėja.
TRUMPF produktai EUV litografijoje, kaip svarbu? Pirmiausia leiskite man paaiškinti EUV litografijos principą, jūs suprasite.
EUV litografijos principas, paprasčiau tariant, yra sutelktas į tris pagrindines sistemas: EUV UV šviesos šaltinio sistemą, objektyvo lęšių sistemą ir stalo sistemą.
Konkretus procesas yra naudoti lazerį 13,5 nm bangos ilgio ekstremalios ultravioletinės šviesos sužadinimui, o po korekcijos suformuoti kontroliuojamą šviesos spindulį, o tada šis šviesos spindulys projektuojamas ant fotokaukės stalo ir pro objektyvą. veidrodis prie ekspozicijos lentelės ir galiausiai išgraviravo grandinę ant silicio plokštelės, padengtos fotorezistu.
Viena iš EUV UV šviesos šaltinių sistemų gaunama bombarduojant alavo (Sn) metalo lašelį 30 kW galios CO2 lazeriu, išgarinant jį į plazmą ir galiausiai gaunama 13,5 nm bangos ilgio EUV šviesa.
Šį 30 kW galios CO2 lazerį tiekia TRUMPF – vienintelis toks pasaulyje.
Nenuvertinkite šio CO2 lazerio, jis turi 457 329 dalis, kabelio ilgis sistemoje siekia iki 7 322 metrų, o svoris – 17 090 kg, o tai yra vienas svarbiausių pagrindinių komponentų EUV litografijoje.
Dabar TRUMPF nubėgo į Kiniją statyti gamyklos, ketinimas aiškus, tai yra optimistiškai nusiteikęs Kinijos lazerių rinkos atžvilgiu, o dar labiau ilgalaikis požiūris, optimistiškai nusiteikęs Kinijos litografijos rinkai, ateityje gali bendradarbiauti su Kinija kuriant EUV litografiją. .
Tiesą sakant, jau yra daugiau nei viena ASML tiekimo grandinė į Kiniją statyti gamyklą, anksčiau nei KMWE ir kiti gamintojai, taip pat į Kiniją statyti gamyklą.
Pagal dabartinę tendenciją, mes galime optimistiškai tikėtis, kad tai gali būti neilgai, kol Kinijos litografijos technologija bus didelis žingsnis į priekį, ir net produkcijos EUV litografijos apimtis, taip pat gali laukti, ar manote?
